操作渦輪分子泵抽氣系統(tǒng)
1個(gè)裝有單獨(dú)粗抽管路的渦輪分子泵抽氣零碎的操作法子與撮合泵抽氣零碎雷同。在初步粗抽曩昔，高真空閥和粗抽閥是關(guān)著的，而前級管道閥是掀開的。起首封鎖前級閥，發(fā)起粗抽泵（兼前級泵），掀開粗抽閥初步對真空室截止抽氣。在真空室內(nèi)的壓力降到1五0~100Pa時(shí)封鎖粗抽閥，掀開前級管道閥，再發(fā)起渦輪分子泵（需先接通冷卻零碎）。假設(shè)分子泵出口處裝有液氮冷阱，則應(yīng)在泵加快到額外轉(zhuǎn)速后（1般需五~10min）加注液氮。
粗抽零碎的配置隨真空室的容積的大小而有所差距。對五00L/s或更小的渦輪分子泵來講，可采納1臺雙級旋片泵；1000L/s以上的渦輪分子泵則采納以凝滯泵為前級泵的羅茨泵機(jī)組。在壓力為100到1五0Pa時(shí)封鎖粗抽閥，把真空室切換到渦輪分子泵上。對某些泵，如許做會引起渺小而滯后的瞬時(shí)減速，但這對抽氣并沒有影響。正如撮合泵抽氣零碎那樣，渦輪分子泵零碎中的最首要的精力是水蒸氣，其抽氣年華將受液氮冷阱抽速的支配。假設(shè)不消液氮冷阱，那末這個(gè)零碎抽除水蒸氣的速度就會比一樣抽速的無冷阱撮合泵略慢1些。在高真空抽氣過程的起始階段，泵的很大的未經(jīng)烘烤的內(nèi)輪廓會吸附水，而后再在較低的壓力下從新監(jiān)管出來。這類效應(yīng)在無閥門的零碎中更加體味打聽，因?yàn)樗蠹s比未披露在壓力高于1五0Pa的空氣環(huán)境的有閥門的零碎吸附更多的水蒸氣。
零碎停機(jī)時(shí)，先封鎖高真空閥，假設(shè)有液氮冷阱的話，還要將冷阱加熱。在冷阱達(dá)到均衡溫度后，關(guān)掉前級管道閥，再堵截渦輪分子泵電動機(jī)的電源使分子泵的轉(zhuǎn)子減速。1般來講，到泵轉(zhuǎn)子徹底進(jìn)行需要頗為鐘或更長的年華。在分子泵轉(zhuǎn)子減速期間，來自前級管道的碳?xì)浠衔锖蜏u輪分子泵的光滑油蒸氣會迅速地向泵的進(jìn)氣口上方區(qū)域撮合。為了警戒凝滯泵油蒸氣和渦輪分子泵光滑油蒸氣的返流，在堵截渦輪分子泵電動機(jī)的電源后，要用1股單調(diào)的反向氣流對分子泵截止放氣。例如，應(yīng)當(dāng)在泵轉(zhuǎn)子速度降落到最大轉(zhuǎn)速的五0％支配時(shí)，在泵進(jìn)氣口上方的某處或在轉(zhuǎn)子組件上部連氣兒充入氬氣或氮?dú)�，直到泵�?nèi)壓力達(dá)到大氣壓。經(jīng)過從閥門３（見圖1）充入氣體便可適外地完成這1操作。當(dāng)渦輪分子泵以額外速度運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，不該每每充入壓力為大氣壓的氣流。如許做對軸的壽命是不利的。之后級管道閥封鎖后，即可關(guān)掉凝滯泵零碎，并用放氣閥對凝滯泵內(nèi)截止放氣。停機(jī)后應(yīng)當(dāng)即關(guān)掉冷卻水以警戒內(nèi)部冷凝。在正常義務(wù)時(shí)，可把水溫調(diào)節(jié)到略高于露點(diǎn)來消除泵體內(nèi)部大約形成的冷凝物。發(fā)起零碎要先接通冷卻水流，掀開前級管道閥門，再同時(shí)發(fā)起凝滯泵和渦輪分子泵。在泵加快到額外轉(zhuǎn)速（1般為五到10min）后，便可加注液氮冷阱。而后便可按上節(jié)所介紹的程序?qū)φ婵帐医刂钩闅狻?
上面1種所給出的是不消高真空閥門的抽氣零碎的操作要比有閥門的抽氣零碎煩瑣許多。操作時(shí)，先掀開冷卻水和前級管道閥，并同時(shí)發(fā)起凝滯泵和渦輪分子泵。如粗抽泵選擇得當(dāng)使真空室的粗抽年華即是加快年華，那末真空零碎就能在沒有泵油蒸氣返流的環(huán)境下把真空室抽到其本底壓力。
無閥門零碎在放氣和停機(jī)時(shí)，起首封鎖前級管道閥，等泵轉(zhuǎn)速降落到最大轉(zhuǎn)速的五0％時(shí)再在泵的上方充入單調(diào)氣體。當(dāng)零碎充到大氣壓時(shí)應(yīng)封鎖放氣閥門，否則會形成真空室過壓。而后按上述介紹的法子關(guān)掉凝滯泵并停掉冷卻水。沒有單設(shè)粗抽管路的渦輪分子泵零碎的操作：先掀開分子泵冷卻零碎和前級管路閥，并同時(shí)發(fā)起前級（粗抽）凝滯泵和渦輪分子泵。假設(shè)粗抽泵（前級泵）選擇得當(dāng)，使真空室的粗抽年華即是分子泵的加快（發(fā)起）年華，則真空零碎就能在沒有泵油蒸汽返流的環(huán)境下把真空室抽到其本底壓力。
該零碎在停機(jī)前，要先封鎖前級管路閥，而后堵截分子泵電源和封鎖冷卻水。平分子泵轉(zhuǎn)速降落到額外義務(wù)轉(zhuǎn)速的1半時(shí)，再在泵的出口處充入單調(diào)氣體，當(dāng)零碎充到大氣壓力后，應(yīng)封鎖放氣閥門。根據(jù)需要在前級閥封鎖后的任何時(shí)辰停掉前級泵零碎。
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